シリーズＣで３１００万ドルを調達＝米インプリア〔ＢＷ〕

　【ビジネスワイヤ】極端紫外線リソグラフィー（ＥＵＶ）向け金属酸化物フォトレジストの米インプリアは、材料事業のＪＳＲ（東京都港区）主導のシリーズＣ資金調達で３１００万ドルを確保したと発表した。シリーズＣにはＪＳＲ以外の既存投資企業のほか、新規投資企業としてＳＫハイニックスとＴＳＭＣ・Ｐａｒｔｎｅｒｓが参加。インプリアのフォトレジストは優れたエッチング選択性を備え、解像度の向上と製造フローの簡素化に貢献する。
　【注】この記事はビジネスワイヤ提供。英語原文はｗｗｗ．ｂｕｓｉｎｅｓｓｗｉｒｅ．ｃｏｍへ。